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    爪泵的功能特点

    发布时间:2018-09-09 10:25:06 来源:admin
    爪式真空泵是一种在半导体行业应用非常广泛的真空泵。第一台爪式真空泵诞生于日本,随着日本半导体行业的蓬勃发张,爪式真空泵的应用量迅速增大。它除了有干式真空泵腔内无油的共同特点外,还有自己的独特优点。
     
    (1)转子与转子之间,转子与腔体之间存在间隙,没有摩擦。
     
    (2)可以直排大气,能够在高压下长期稳定工作。
     
    (3)能够抽除腐蚀性、剧毒性、放射性和易燃性气体。
     
    (4)压缩比大,可以达到10~105。(5)对粉尘的耐受性较强。
     
    爪型干式真空泵可以做成单级,也可以做成多级。很多公司都采用爪型转子与罗茨转子组合的方式。一般爪泵做前级。它利用了在低压下罗茨泵的抽气效率较高,高压下爪型转子抽气效率较高的特点,将这两种泵各自的优势匹配起来,组成干式真空泵。这样的干式真空泵适用于真空度达1Pa,含水分子和硬质腐蚀颗粒的半导体芯片,光学通讯设备及平板显示器等高科技行业的苛刻工艺流程。在众多的干式真空泵中,爪式真空泵备受半导体、光学器件等高科技行业的青睐。
     
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